Có 3 phương pháp đo độ nhám bề mặt: Phương pháp giao thoa, phương pháp mặt cắt ánh sáng và phương pháp đo tiếp xúc. Bạn tìm quyển Kỹ thuật đo lường kiểm tra của thầy Nguyễn Tiến Thọ của NXB Khoa học kĩ thuật để hiểu rõ về từng phương pháp, mỗi phương pháp lại có nhiều loại máy khác nhau.
Mình biết 2 phương pháp: đo bằng đầu dò và đo theo pp Quang học. Nhưng chỉ tiêu đánh giá nhám thì có rất nhiều tùy vào việc mình sử dụng tiêu chuẩn nào: ISO, JIS, DIN, TCVN ....